1. 备件供应
我们可以提供的如下厂家备件服务。
NIKON: G4D-I14，203/204B/205C等光刻机备件,NWL-641，861显微镜备件；OPT III/V外观检查设备备件。
CANON:PLA-501F,MPA500FA/600FA,I2/I3 等。
ASML 5000；ST1000/1500，SVG: 81xx、86xx、88xx，
EATON:NV6200,NV1080/10160,GSD
VARIAN:120XP,180XP,3180,3280，2000M/8等设备备件
AMAT;P5000,83xx，E5500,5520等.
NVLS:C1、C2.。LAM:4400/4500/490/590/9400/9600.
TEGAL： 903/905，915刻蚀设备备件；MRC，CHA mark50设备备件；
TEL,DNS涂胶显影设备；
KLA RS35/55/75,SFS45XX/55XX/6XXX,P-X/P-XX，其他厂家量测设备备件；
NEC，GSI mark II打标机备件，GASNICS A1000等设备备件。
2. 备件维修
1）.各品牌MFC的维修校准服务，臭氧传感器维修等。
2）.MKS真空压力计的维修校准服务，提供有原厂和副厂产品。
3）.激光干涉仪维修服务，提供原厂和副厂产品供客户选择。
4).老旧设备硬盘系统改善替代工作。如：AMAT,NIKON等设备。
5).ESC、加热器维修，如AMAT等
6).各种直流、伺服电机和步进马达的维修。各种老旧型号，厂家定制型号，停产型号的产品维修。
7).马达驱动器，各种控制器，电源、射频电源、汞灯电源、匹配器及PCB维修。
8).各种阀门、节流阀、旋转磁铁的维修。
